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产品分类: UVW相位台
产品名称: WNGAU05系列
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XXY精密对位平台模块

行程 : ±5x±5 (mm) 机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型-驱动/从动模块

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构

★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现

★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用

★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度

★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能

★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

型号

行程 (mm)

水平负载能力 (mm)

WNAU05-RSD

±5x±5

117

WNAU05-RSS

±5x±5

117

WNAU05-CCD

±5x±5

64

WNAU05-CCS

±5x±5

64


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