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相位台:WNUVW00-160LC
产品分类: UVW相位台
产品名称: 相位台:WNUVW00-160LC
产品名称: 相位台:WNUVW00-160LC
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产品特征:
1.采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
2.高刚性、高精度
高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
3.超薄型、轻量化、中空结构
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
4.润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
5.产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
6.材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
1.面板贴膜
2.3D网版印刷
3.玻璃侧角及磨边设备
4.Wafe对位设备
5.P.C.D曝光设备
6.软体裁切设备
7.半导体设备
型号 | WNUVW160LC | |
结构描述 | 台面尺寸(mm) | 160X160 |
底板尺寸(mm) | 170X170 | |
高度(mm) | 50 | |
行程(mm) | ±3 | |
角度(θ) | ±2° | |
主体材料 | 铝合金 | |
表面处理 | 阳极氧化发黑 | |
电机 | 28步进电机 | |
精度描述 | 螺杆规格 | φ6-P1 |
水平承载(Kg) | 30 | |
重复定位精度(μm) | ±2 | |
平行度(μm) | 25 |