如何实现光学平台的隔振？

光学平台广泛应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工、无损检测、机械工业中的精密测试仪器及设备振动隔离。它的动态力学性能直接影响试验结果的准确性和可靠性。其微振动特性直接影响精密仪器的测量精度。由于精密隔振要求的提高，光学平台的振动隔离技术需要进一步改进。

在进行隔振系统设计时，需要考虑的干扰因素比较复杂，主要有：大型建筑物本身的摇摆、地面或地面的振动、电器设备的振动、各种机械的振动、声音引起的振动、外部道路交通的振动，甚至人类行走引起的振动。

分光计的选择对提高实验精度有重要意义。光平台的隔振一般可以通过三种方式来实现：

隔振器：一般气浮式隔振支架的性能一般好于阻尼隔振支架，有些性能优良的隔振支架可达到一到两个数量级(一般在10~200赫兹)。

台式机质：要求台面有一定刚度，且重量轻(硬重比)，使台面能有效地减少共振时的振幅，本文稍后将介绍。

台面内部结构：台面内部结构不但可减小支架，而且可减少或消除桌面冲击及相对运动产生的振动。

优质的光学平台不仅要有高精度的机械加工，还要有高科技精度的检测手段和仪器，高质量的光学平台才能保证光学实验的高精度和科研的正常进行。

STACISIII为柔性主动隔振系统。采用先进的惯性振动传感器、控制算法和压电驱动器，通过连续测量地面运动，再滤缩地面运动，实现实时消振。本系统包括改进版的DC-2020数字控制器。新一代双核处理器、以太网和USB串行接口，为用户提供现代、易用的图形用户界面(GUI)，是一种全新的控制系统。精微光刻、测量和检测设备，是工业标准解决方案，隔离先进半导体工厂(包括但不限于：半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)。