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如何实现光学平台的隔振?

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人气:-发表时间:2021/8/26 16:52:41【

如何实现光学平台的隔振?

光学平台广泛应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工、无损检测、机械工业中的精密测试仪器及设备振动隔离。它的动态力学性能直接影响试验结果的准确性和可靠性。其微振动特性直接影响精密仪器的测量精度。由于精密隔振要求的提高,光学平台的振动隔离技术需要进一步改进。

在进行隔振系统设计时,需要考虑的干扰因素比较复杂,主要有:大型建筑物本身的摇摆、地面或地面的振动、电器设备的振动、各种机械的振动、声音引起的振动、外部道路交通的振动,甚至人类行走引起的振动。

分光计的选择对提高实验精度有重要意义。光平台的隔振一般可以通过三种方式来实现:

隔振器:一般气浮式隔振支架的性能一般好于阻尼隔振支架,有些性能优良的隔振支架可达到一到两个数量级(一般在10~200赫兹)。

台式机质:要求台面有一定刚度,且重量轻(硬重比),使台面能有效地减少共振时的振幅,本文稍后将介绍。

台面内部结构:台面内部结构不但可减小支架,而且可减少或消除桌面冲击及相对运动产生的振动。

优质的光学平台不仅要有高精度的机械加工,还要有高科技精度的检测手段和仪器,高质量的光学平台才能保证光学实验的高精度和科研的正常进行。

STACISIII为柔性主动隔振系统。采用先进的惯性振动传感器、控制算法和压电驱动器,通过连续测量地面运动,再滤缩地面运动,实现实时消振。本系统包括改进版的DC-2020数字控制器。新一代双核处理器、以太网和USB串行接口,为用户提供现代、易用的图形用户界面(GUI),是一种全新的控制系统。精微光刻、测量和检测设备,是工业标准解决方案,隔离先进半导体工厂(包括但不限于:半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)。



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