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产品分类: 微型电动平移台
产品名称: 迷你型电动平移台:WN262TA20
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20150123155136129.jpg

行程

20mm

设计分辨率

0.125μm

重复定位精度

<10μm

运动直线度

<10μm

运动平行度

<10μm

俯仰(θy)

10″(50μrad)

偏摆(θz)

10″(50μrad)

最高速度

5mm/sec

负载

0.5kg

自重

0.3kg


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