UVW相位台
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☉采用了划时代性模组结构的超薄型平台:在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
☉高刚性、高精度:高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
☉超薄型、轻量化、中空结构:中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
☉润滑系统:在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
☉产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
☉材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
☉面板贴膜
☉3D网版印刷
☉玻璃侧角及磨边设备
☉Wafe对位设备
☉P.C.D 曝光设备
☉软体裁切设备
☉半导体设备
- 相位台:WNUVW00-160LC
- 相位台:WNUVW00-170LC
- 相位台:WNUVW00-200HC
- 相位台:WNUVW00-200JC
- 相位台:WNUVW01-250BC
- 相位台:WNUVW01-250CC
- 相位台:WNUVW01-250JC
- 相位台:WNUVW01-250RS
- 相位台:WNUVW01-350CC
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