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相位台:WNUVW00-200HC
产品分类: UVW相位台
产品名称: 相位台:WNUVW00-200HC
产品名称: 相位台:WNUVW00-200HC
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产品特征:
1. 采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
2. 高刚性、高精度
高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
3. 超薄型、轻量化、中空结构
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
4 .润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
5. 产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
6. 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
1. 面板贴膜
2. 3D网版印刷
3.玻璃侧角及磨边设备
4. Wafe对位设备
5.P.C.D曝光设备
6. 软体裁切设备
7. 半导体设备
型号 | WNUVW200HC | |
结构描述 | 台面尺寸(mm) | 200X200 |
底板尺寸(mm) | 350X350 | |
高度(mm) | 60 | |
行程(mm) | ±8 | |
角度(θ) | ±3° | |
主体材料 | 铝合金 | |
表面处理 | 阳极氧化发黑 | |
电机 | 42步进电机 | |
精度描述 | 螺杆规格 | φ8-P1 |
水平承载(Kg) | 100 | |
重复定位精度(μm) | ±2 | |
平行度(μm) | 25 |