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☉采用了划时代性模组结构的超薄型平台:在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。

☉高刚性、高精度:高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。

  ☉超薄型、轻量化、中空结构:中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用

  ☉润滑系统:在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。

☉ 产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。

  ☉材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命

产品应用:

  ☉ 面板贴膜

  ☉ 3D网版印刷

  ☉玻璃侧角及磨边设备

  ☉ Wafe对位设备

  ☉  P.C.D曝光设备

  ☉ 软体裁切设备

  ☉ 半导体设备 


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