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相位台:WNUVW01-250JC

产品分类: UVW相位台
产品名称: 相位台:WNUVW01-250JC
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产品特征:
1. 采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
2. 高刚性、高精度
高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
3. 超薄型、轻量化、中空结构
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
4 .润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
5. 产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
6. 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
1. 面板贴膜
2. 3D网版印刷
3.玻璃侧角及磨边设备
4. Wafe对位设备
5.  P.C.D曝光设备
6. 软体裁切设备
7. 半导体设备

型号WNUVW250JC
结构描述台面尺寸(mm)250X250
底板尺寸(mm)290X290
高度(mm)80
行程(mm)±5
角度(θ)±3°
主体材料铝合金
表面处理阳极氧化发黑
电机42步进电机
精度描述螺杆规格φ8-P1
水平承载(Kg)30
重复定位精度(μm)±2
平行度(μm)30

WNUVW01-250JC(网页尺寸图).jpg

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